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中科院在先進(jìn)工藝仿真方向取得重要進(jìn)展

發(fā)布時(shí)間:2024-11-11 15:09
發(fā)布者:磐石創(chuàng)新
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       實(shí)現(xiàn)了針對(duì)Si/SiGe六疊層結(jié)構(gòu)的橫向選擇性刻蝕工藝輪廓仿真,并完成了相應(yīng)結(jié)構(gòu)的流片實(shí)驗(yàn)。


       據(jù)中國(guó)科學(xué)院微電子研究所官網(wǎng)消息,近日,微電子研究所EDA中心陳睿研究員與先導(dǎo)中心李俊杰高級(jí)工程師、南方科技大學(xué)王中銳教授、維也納工業(yè)大學(xué)Lado Filipovic教授合作,針對(duì)GAA內(nèi)側(cè)墻結(jié)構(gòu)Si/SiGe疊層橫向選擇性刻蝕工藝面臨的形貌缺陷和均勻性問(wèn)題,通過(guò)提出全新的Ge原子解吸附和擴(kuò)散的模擬算法,建立了基于蒙特卡洛方法的連續(xù)兩步干法刻蝕工藝輪廓仿真模型,實(shí)現(xiàn)了針對(duì)Si/SiGe六疊層結(jié)構(gòu)的橫向選擇性刻蝕工藝輪廓仿真,并完成了相應(yīng)結(jié)構(gòu)的流片實(shí)驗(yàn)。


       通過(guò)結(jié)合形貌仿真和透射電子顯微鏡(TEM)表征,探究了Ge層刻蝕表面圓化現(xiàn)象,以及腔體氣壓等參數(shù)對(duì)刻蝕形貌均勻性的影響機(jī)制。該項(xiàng)工作為闡明新原理刻蝕工藝機(jī)理和優(yōu)化工藝性能提供了理論和實(shí)驗(yàn)參考。研究成果近期發(fā)表在材料領(lǐng)域頂級(jí)期刊《Small》上,同時(shí)入選TCAD仿真領(lǐng)域旗艦會(huì)議SISPAD 2024口頭報(bào)告。此外,相關(guān)研究成果還發(fā)表在《ACS Applied Electronic Materials》、《Journal of Vacuum Science & Technology A》 等期刊上。該項(xiàng)研究得到了中國(guó)科學(xué)院戰(zhàn)略性A類(lèi)先導(dǎo)專(zhuān)項(xiàng)、國(guó)家自然科學(xué)基金的支持。 


圖片1.png

1 建模流程

 

圖片2.png

2 不同氣壓條件下的Si/SiGe六疊層iso/dense結(jié)構(gòu)刻蝕實(shí)驗(yàn)與仿真結(jié)果

 

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